因为百级以上的洁净室要求室内空气流形为垂直流，所以必须使用带孔的高架地板。高架地板的作用就是把经过洁净室顶部高效过滤器处理的空气垂直导入地板下方的回风道，从而在洁净室内垂直的气流流形。洁净室高架地板的作用主要是用于防潮。捷径是高架地板的高度要比普通地板都要高，这样的话下面就会有一个空间，这些地方不会直接与潮湿的环境进行直接接触。高架地板主要是以可调支架、横梁、面板等组合拼装而成的。支架、横梁、面板的技术性能应符合设计要求和国家现行规范规定。架空防静电地板是用支架、横梁、面板组装。水平地板和面板之间就有一定的悬空空间。就可以用来下走线及回风。